ISO 14644中定義
空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子，室內其它相關參數如溫度、濕度和壓力按要求進行控制；
分 類
按布局分類
單區大空間式：適用于制造業、測試、安裝；
隧 道 式 ：適用于半導體前線；
超潔凈微凈房： 適用于高級別區域。
按功能分類
工業用潔凈室(工業,ICR)：如半導體、電子機器、精密機械、精致涂裝、光學、印刷、計器等
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工 業 用 潔 凈 室 |
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分類 |
區分 |
對應 |
內容 |
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半
導
體 |
IC.LSI制作 |
結晶精制、擴散、蝕刻、對準、表面處理、金屬附著、研磨、組裝、檢查、半成品保管、包裝。 |
超精密加工、防止塵埃附著，防止霉菌的產生，以提升及確保產品的質量。 |
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電
子
產
業 |
電子計算器 |
磁鼓、磁帶。 |
加工、組裝、防止塵埃附著，防止霉菌的產生，以提升及確保產品的質量。 |
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電子機器 |
光導映像管、布朗管、印刷板、小型繼電器。 |
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電器計測器 |
精密電器計器。 |
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其
他
產
業
領
域 |
航空.宇宙產業 |
人工衛生、回轉儀 |
防止塵埃、菌、霉引起的事故。防止地球宇宙相互間污染 |
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精密機器 |
微行軸承、普通軸承、高可靠度零件、裝置。 |
防止因塵�；烊敫街斐傻馁|量劣化。 |
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光學機器 |
鏡片研磨、醫學用照相機、膠卷制造、微縮片、顯像、干燥。 |
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精密機械 |
測定、控制用機器制造。 |
防止塵埃、菌、霉，以確保及提升質量。 |
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控制檢查 |
環境控制、實驗室、研究室 |
防止發生事故。(產品檢查開發) |
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印刷 |
超精密印刷 |
防止塵埃、菌、霉，以確保及提升質量。 |
生物用潔凈室(化學，食物，醫療，實驗室等)：除ICR的要求外，以過濾或殺菌方式對生物粒子也加以控制的空間。如醫學、藥物、食品及生物實驗等。
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生 物 潔 凈 室 |
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分類 |
區分 |
對應 |
內容 |
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一
般
生
物
潔
凈
室 |
制藥工業 |
非無菌藥品 |
固體制劑、口服液等 |
| 無菌藥品 |
水針、凍干粉針，非經腸道制劑等 |
| 食品工業 |
飲料水、乳制品等裝填室食用肉品、火腿包裝室 |
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| 醫療設施 |
無菌手術室A級 |
人工關節手術、內臟器官移植手術(心、腎、肝等臟器)、腦神經手術、眼科手術(眼角膜移植)、剖腹生產手術 |
| 一般手術室D級 |
泌尿科手術、婦產科手術、胸部外科手術、整形外科手術 |
| 感染手術室D級 |
胸部外科、感染患者手術(梅毒、肝炎….) |
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生
物
安
全
潔
凈
室 |
Ⅰ級對人體及公眾危險較低 |
基礎 |
枯草桿菌、大腸埃希氏桿菌 |
| Ⅱ級對人體有輕度危險，對公眾的危險有限 |
基礎 |
傷寒沙門氏菌、乙型肝炎病毒、結核分枝桿菌、淋巴細胞性脈絡叢腦膜炎病毒 |
| Ⅲ級對人體有較高危險，對公眾的危險較低 |
密閉 |
布魯氏菌屬、拉沙熱病毒、莢膜組織胞漿菌 |
| Ⅳ級對人體及公眾均有較高危險 |
高度密閉 |
埃波拉-瑪堡病毒、口蹄疫病毒 |
按潔凈等級分類（0.5µm）
•Class 1 • Class 10 • Class 100
•Class 1K • Class 10K • Class 100K
按空氣流分類
•層流型
•亂流型
•水平流
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FS-209E 與ISO 14644-1標準的區別 |
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類別 |
FS-209E |
ISO14644-1 |
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等級劃分 |
強調按其潔凈度等級表中所列的標準等級，亦列出等級公式 |
強調按等級公式 |
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等級依據公式 |
Cm=(0.5/D)2.2×10M
粒子數/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)
Cm—某等級下，≥D的懸浮粒子最大濃度限值Pc/m3
D—被考慮粒徑um
M—潔凈度等級序數
Nc—英制單位的潔凈度等級 |
Cm=(0.1/D)2.08×10N
Cn—同上Cm
D—同上
N同上M |
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等級數 |
M1—M7 |
ISO1—ISO9級 |
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測試時潔凈室狀態 |
未作規定 |
1種或更多狀態 |
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測試的粒徑范圍要求 |
1個或更多 |
1個或更多，其粒徑至少應為下一個較小粒徑的1.5倍 |
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最小取樣體積 |
2.83L |
2L |
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取樣點數 |
非單向流：A×64/(10M)0.5
單向流：A/2.32,A×64/(10M)0.5中取較小者 |
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取樣次數 |
1次或更多 |
1次，若僅為一點時則取樣3次 |
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超微粒子 |
≤0.02um |
<0.1um |
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大粒子 |
未作規定 |
>5um |
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等動力取樣 |
包括 |
未包括 |
